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公司基本資料信息
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NS3500 Solar 三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3500 Solar 是一種可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。
Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):
Model | Microscope NS-3500 Solar | 備注 | ||||
物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
觀察/ 測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
工作范圍: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | ||
數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | ||
光學(xué)變焦 | x1 to x6 | |||||
總放大倍率 | 178x to 26700x | |||||
觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng) | Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |||||
高度測(cè)量 | 測(cè)量掃描范圍 | 400 um | 注 1 | |||
顯示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重復(fù)率 σ | 0.010 μm | 注 2 | ||||
幀記憶 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | ||||
單色圖像 | 12 bit | |||||
彩色圖像 | 8-bit for RGB each | |||||
高度測(cè)量 | 16 bit | |||||
幀速率 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz | ||||
線掃描 | ~8 kHz | |||||
激光共焦測(cè)量光源 | 波長(zhǎng) | 405nm | ||||
輸出 | ~2mW | |||||
激光等級(jí) | Class 3b | |||||
激光接收元件 | PMT (光電倍增管) | |||||
光學(xué)觀察光源 | 燈 | 10W LED | ||||
光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 | ||||
記錄分辨率 | 640x480 | |||||
自動(dòng)調(diào)整 | 增益, 快門速度, White balance | |||||
數(shù)據(jù)處理單元 | PC | |||||
電源 | 電源電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
電流消耗 | 500 VA max. | |||||
重量 | 顯微鏡 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) | ||||
控制器 | ~8 kg | |||||
隔振系統(tǒng) | 氣浮光學(xué)平臺(tái)隔振系統(tǒng) | Option |
注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器(PZT)執(zhí)行。
注2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長(zhǎng)1μm)進(jìn)行100次測(cè)量。
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