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產(chǎn)品介紹：
KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生長(zhǎng)爐由KJ-1200T管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。
應(yīng)用范圍：
KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生長(zhǎng)爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是專門為在金屬箔（像銅箔、鋁箔等）上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長(zhǎng)。
規(guī)格參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
1200℃石墨烯生長(zhǎng)爐 |
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產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S |
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管式爐 |
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加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
440mm |
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恒溫區(qū)長(zhǎng)度 |
150 (+/-1 ℃) |
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工作溫度 |
1100℃（此溫度為長(zhǎng)期加熱溫度） |
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最高溫度 |
1200℃ |
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爐管尺寸 |
Φ60×1440mm |
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等離子射頻電源 |
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輸出功率 |
5 ～500W ± 1% . |
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射頻頻率 |
13.56 MHz ±0.005% . |
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反射功率 |
最大約200W |
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阻抗匹配 |
自動(dòng) |
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真空泵機(jī)組（雙極旋片泵） |
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真空度 |
10-3torr |
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波紋管 |
KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連. |
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質(zhì)量流量計(jì) |
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四通道控制 |
精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動(dòng)控制、 一個(gè)混氣罐、底部裝有泄廢液口 |
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MFC 1范圍 |
0~100 sccm |
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MFC 2和3 |
0~500 sccm |
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進(jìn)氣接口 |
1/4NPS |
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出氣接口 |
1/4NPS |
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水冷系統(tǒng) |
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水冷法蘭要求 |
水流量 >= 10L/M ，配有專業(yè)水冷機(jī)組 |